一、PVD涂層制備過程中的常見外表缺點
1、大液滴
是PVD涂層制備過程中，高能離子轟擊靶材獲得高堆積功率工況下的典型缺點，一般顆粒的三維尺度比較均勻，大于1.5um，是嚴重影響刀具加工精度的涂層缺點，對刀具的重復定位精度和加工件的外表質量有影響。
2、結瘤與片狀凸出
是由于真空室內的顆粒或者基體外表的顆粒在涂層堆積曾經附著在基體外表，跟著堆積存在于涂層當中，往往是較為松軟的涂層缺點，缺點的面積尺度往往大大的大于高度，在運用中易于剝落。
3、空泛或盤形坑
PVD涂層中存在與涂層的結合不牢的外來顆粒在高應力效果下進行自發掉落，構成空泛缺點；基體之間存在污染，在真空室冷卻時由于熱應力效果而掉落構成盤形坑或露出基體缺點。
4、針孔或氣泡
當基體外表存在狹窄的凹坑時，涂層堆積過程中在凹坑邊優先生長，逐漸構成涂層針孔缺點，而進行外表拋光處理時，這種缺點外表一層薄薄的涂層被磨掉，露出出來。氣泡是100-400nm微顆粒，真空室內構成片狀，當他們穿過等離子體時能夠得到電荷，這種離子能夠到達基體外表，并且在電荷的效果下被固定在基體外表，堆積過程中構成氣泡式缺點。
二、處理PVD涂層外表缺點的常用辦法
1、真空拋光處
真空腔體以及內部部件的氣體放出量，和材料的外表積直接相關。固體外表的原子密度大約為2×1019 m-2，考慮到外表的高低不平，實踐的固體外表會吸附大量的氣體分子。通過拋光使外表更加平坦，能夠大大減小外表積，從而削減外表吸附的氣體分子。拋光主要有玻璃丸噴砂和電解拋光兩種手法。
2、超聲波清洗
超聲波清洗是使用超聲波在液體中的空化效果、加速度效果及直進流效果對液體和污物直接、直接的效果，使污物層被渙散、乳化、剝離而到達清洗意圖。向液體導入超聲波后，液體的激烈運動使局部發生壓強差。壓強低的部分會發生大量的氣泡，當壓強從頭升高時，這些氣泡會在瞬間決裂，從而在液體中發生沖擊波。沖擊波會將固體外表的油污剝離。超聲波清洗用的液體一般采用酒精或丙酮。通過超聲波清洗的部件放到大氣中后，酒精或丙酮會馬上蒸騰，不會在部件外表留下水垢。
